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透明晶圆缺陷扫描Lumina AT2

LuminaAT2可以在3分钟内完成300毫米晶圆的扫描,对于基底上下表面的颗粒、凸起、凹陷、划痕、内含物等缺陷均可一次性成像。在透明基底,如玻璃,化合物半导体如氮化镓、砷化镓、碳化硅等样品上有独特的优势。也可用于薄膜涂层的成像厚度变化的全表面扫描。 展开

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品牌Lumina型号Lumina AT2
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透明/半透明晶圆缺陷扫描Lumina AT2和AT2-Auto

 

简介:

Lumina AT2可以在4分钟内完成300毫米晶圆的扫描,对于基底上下表面的颗粒、凸起、凹陷、划痕、内含物等缺陷均可一次性成像。在透明基底,如玻璃,化合物半导体如氮化镓、砷化镓、碳化硅等样品上有独特的优势。也可用于薄膜涂层的成像厚度变化的全表面扫描。

样品300 x 300 mm。

 

厂商简介

Lumina Instruments,总部位于美国加利福尼亚州圣何塞,公司创始人在透明、半透明和不透明基板全表面缺陷检测创新了更快速准确的方法,因此创建了革命性的仪器品牌lumina.

 

技术创新

 

 

将样片放入系统中,3~5分钟即可完成扫描。

收集的数据将被分析,图像和缺陷图将由LuminaSoft软件生成。
感兴趣的缺陷可在扫描电子显微镜(SEM)、椭偏仪、显微镜等上进行进一步分析。

 

将样品放入系统


直径为30微米的绿色激光以50毫米的直线运动,反射光和散射光由四个探测器捕获。

 

四通道检测

AT1有四个检测通道。它们同时运行以生成四个独立的图像。每个通道有助于检测和分类某些缺陷。

极化:薄膜缺陷、污渍
反射率:划痕、内应力*、玻璃内的条纹*
坡度:划痕、凹坑、凸起、表面形貌
暗场:纳米颗粒、包裹体

 

Lumina AT2和 AT2Auto:AT2采取的样品的尺寸为450mm,AT2-Auto采取样品的尺寸为200mm。光斑的大小在都在60μm也可以选择30或10μm;灵敏度在300nm最为理想;扫描时间在40/50/120s。

 

 

 

AT2应用案例:

内部缺陷:在融化阶段,玻璃内含有污染物

 

l  内应力:生产过程中玻璃内部形成的张力或折射率内部变化。

 

l  污渍:由于薄膜残留或清洗过程导致表面变色。

 

 

AT2系统规格

扫描时间:2分钟内扫描300mm晶圆

扫描范围:       450x450mm

灵敏度:     薄膜缺陷<0.5

颗粒,硅上200nm PSL

颗粒,玻璃上300nm PSL

标刻:      金刚石标刻 200$ 

翘曲度:   范围可达800μm 

+/-5μm重复性

温度:      18-30摄氏度

电压:      120/230VAC

电流:      8A/4A

重量:      480Kg (1058磅)

尺寸:      1037 x 1037 x2005mm     (40.8 x 40.8x79英寸)


供应商信息

北京伊微视科技有限公司主营表面形貌测试设备及耗材,如原子力显微镜、白光干涉仪、台阶仪等。

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企业类型 有限责任公司(自然人独资) 统一社会信用代码 91110302MA01UHCN2D
成立日期 2020-08-28 法定代表人/负责人 石伊晴
注册资本 500万(元) 注册地址 北京市北京经济技术开发区经海四路35号院1号楼4层404-1
营业期限 2020-08-28 至 2050-08-27 登记机关 北京经济技术开发区市场监督管理局
经营范围 技术开发;技术咨询;技术交流;技术转让;技术推广;技术服务;软件服务;软件开发;基础软件服务;应用软件服务;计算机系统服务;销售仪器仪表、电子产品、电气设备、实验室设备、化工产品、机械设备;国内贸易代理;技术进出口;货物进出口;代理进出口。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
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