Film sense60纳米至5μm透明薄膜厚度测量椭偏仪 全自动多点测量

FS-1多波长椭偏仪

Film Sense多波长偏仪使用寿命长的LED和无移动部件的椭圆偏振探测器在便于使用的紧凑型系统中提供快速而可靠的薄膜测量。

通过简单的 1 秒测量，可以以极高的精度和精度测定大多数透明薄膜的薄膜厚度和折射率并对许多样品进行光学常数 n&k 等薄膜性质的测量。

多波长椭偏仪提供了强大的薄膜测量功能售价只是单一波长椭偏仪和光谱椭偏仪的中等水平。Film Sense偏仪非常适合在研究实验室教室，现场处理室，工业质量控制等等。

主要特点：

1、多个LED 光源(4或6，波长280-950nm，视系统而定)

2、一体化设计，椭偏仪探测器中无可移动部件

3、具有良好的厚度精度，对多个样品的厚度优于 0.001 nm(1 秒钟)，甚至对于亚单层膜的厚度也优于 0.001 nm.可通过现代计算机，笔记本电脑或平板电脑 Web 浏览器界面直接访访问软件页面，用于仪器控制和数据分析。

产品优势

1、寿命长(>50,000小时)，没有耗时的对准或PM程序

2、快速测量时间(10ms内的多波长数据)和长期可靠性

3、只有椭偏仪才有的测量精度

4、没有复杂的软件设置和维护

自动绘图系统：

将 FS-1EX 多波长圆仪与紧凑型自动化映射平台结合在一起，可在晶圆上提供快速、准确和可靠的薄膜厚度均匀性测量。

 案例：

Film Sense 多波长偏仪在测量透明单层薄膜的厚度和折射率方面表现出色。上限厚度取决于椭偏仪系统(通常为 2-5 微米)， 但也取决于基底和薄膜的光学常数。与任何偏仪系统一样， 为了获得准确的折射率测量结果，需要有最小薄膜厚度(通常为 10 纳米)。

光吸收薄膜也可以被测量，但数据分析变得更加复杂，因为需要薄膜的光学常数(折射率 n 和消光系数K值)。Film Sense 软件包含了多种确定n 和值的方法:1)多样品分析，2)联合偏仪+透测量，和3)色散模型。对于吸收薄膜，上限厚度强烈依赖于材料的类型 ， 对于金属薄膜，上限通常为50纳米。

多波长偏仪还可以用于测量多层膜堆叠 (在某些情况下可达 5层)，这取决于各层的厚度和折射率。可以在 Film Sense 软件中进行模拟，以确定特定样品结构是否可行。对于某些样品，还可以表征薄膜中的表面粗糙度和折射率梯度。

特点和规格：

***测量厚度范围为0- 5um 的大多数透明薄膜

典型的厚度重复性: 0.015 nm

集成聚焦探头，标准光斑尺寸: 0.8x19 毫米(可提供其他光斑尺寸)

电动Z型载物台用于样品自动对准

灵活的扫描模式编辑器