是否进口是 | 加工定制是 |
品牌Laurell | 型号WS-650Mz-23NPPB |
产品适用范围150mm | 电源220V |
工作电压300V | 重量15kg |
转速12000rpm | 转速精度1rpm |
基片尺寸10-150mm | 腔体材质聚丙烯 |
连接方式蓝牙 |
是否进口是 | 加工定制是 |
品牌Laurell | 型号WS-650Mz-23NPPB |
产品适用范围150mm | 电源220V |
工作电压300V | 重量15kg |
转速12000rpm | 转速精度1rpm |
基片尺寸10-150mm | 腔体材质聚丙烯 |
连接方式蓝牙 |
匀胶机(英文名:Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜
详细介绍:匀胶机(英文名:Spin Coater& Spin Processor)
行业俗称:匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、涂层机
一、产品概述:
匀胶机WS-650Mz-23NPPB适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。美国Laurell匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以***半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是650S 型匀胶机的特点。二、匀胶机工作原理:
匀胶机WS-650Mz-23NPPB(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。三、匀胶机WS-650Mz-23NPPB主要性能指标:
1、腔体尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直径的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的转接托盘);
3、转动速度:0-12,000rpm,
4、旋涂加速度:0-12000rpm/sec;
5、马达旋涂转速:稳定性能误差 < ±1%;
6、转速调节精度:<1rpm,重复性< 0.2rpm;
7、工艺时间设定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;
8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;
9、高精度数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006%。
10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;
11、分辨率:分辨率小于1转/分,可重复性小于±1转/分,美国***技术研究院(NIST)认证过的,并且无需再校准!]
12、配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹;
13、配套分析软件:SPIN3000操作分析软件;
14、***水平测试仪;
可选配置:
IND构造为湿站系统设计,带远程控制;
OND构造为手套箱系统设计,带远程控制;
UD自动滴胶装置:UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒,
EBR(Edge Bead Remover):晶圆去边,机械装置;
http://www.mycrohk.com/spinprocessor
企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 91420106669542290R |
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成立日期 | 2008-02-21 | 法定代表人/负责人 | 黄婉茹 |
注册资本 | 139万(元) | 注册地址 | 洪山区珞狮南路147号未来城A栋23层2301室 |
营业期限 | 2008-02-21 至 无固定期限 | 登记机关 | 武汉市洪山区市场监督管理局 |
经营范围 | 一般项目:货物进出口(不含国家禁止或限制进出口的货物);通讯电子产品、机械自动化产品、半导体产品、计算机信息技术产品研发、销售及技术服务(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动) |