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  • 所 在 地:山东 青岛 即墨区
  • 主营产品: 扩散炉 扩散炉炉体 隧道式烧结炉 真空焊接炉
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高温SIC氧化炉 碳化硅高温炉 晨立定制 科研真空炉

实验炉是半导体加工中的典型热处理设备,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。 展开

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更新时间 : 2024-05-23
产品特性氧化退火加工定制
品牌晨立型号CL
用途扩散、氧化、退火、合金及烧结规格卧式热壁型或立式
工艺管数量1-4管工艺管口径Φ90-360mm(3~12英寸)
工作温度范围400~1280℃
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高温SIC氧化炉 碳化硅高温炉 晨立定制 科研真空炉


真空试验炉

设备用途:实验炉是半导体加工中的典型热处理设备,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
 


主要技术参数: 
◆工艺管数量:1-4管
◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆工作温度范围:400~1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)

◆结构型式:卧式热壁型
◆气体流量设定精度:±1%F.S
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)噪音:≤62dB(A)震动:≤3μm
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
◆控制方式: 工业微机控制

 

产品描述:

◆高性能进口元器件
   组合关键件采用进口管件,且为半导体级别;优 质的元器件组合,从而***成膜质量。
◆高精度温度控制
   新型炉体设计,提高了温度稳定性;配合高精度温控仪的使用,***工艺过程中温度的快速稳定。
◆软着陆载片装置
   软着陆送料装置,避免了SiC桨的遮挡影响,提高了扩散均匀性。同时桨的清洗周期大幅度延长。

 




供应商信息

青岛晨立电子有限公司成立于2009年,是专 业半导体工艺设备及先 进材料专 用设备研发、生产、销售厂家,是山东省半导体行业协会骨干企业,属于“专精特新”企业。为客户提供先 进材料热处理、高 精度电加热设备及系统集成等全套解决方案。 主要产品:高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高 精度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等,同时承接各种微电子生产线,进口半导体专 用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。 晨立公司拥有十几年的专 业研发制造经验。自成立以来,坚持产品设计和服务质量共同发展,积极进取,精益求精,不断提高产品核心竞争力。公司产品完全自主研发。已拥有2项实用新 型专 利,2项发明专 利正在申请中。有5名中、高级职称的工程师组成专 业的研发团队,从事热工行业近20年之久,有丰富的生产制造经验。 公司本着和谐、共赢,以“质量求发展、以诚信为根本、以客户为中心、以用户满意”为目标的企业方针,为客户提供优 质的产品,优良的服务。

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企业类型 有限责任公司(自然人投资或控股) 统一社会信用代码 91370282686796380X
成立日期 2009-06-02 法定代表人/负责人 姜新诚
注册资本 200万(元) 注册地址 山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
营业期限 2009-06-02 至 无固定期限 登记机关 青岛市即墨区市场监督管理局
经营范围 一般项目:工业自动控制系统装置制造;半导体器件专用设备制造;专用设备制造(不含许可类专业设备制造);电子专用设备制造;电力电子元器件制造;电子元器件制造;半导体分立器件制造;光伏设备及元器件制造;环境保护专用设备制造;工业自动控制系统装置销售;电子产品销售;半导体分立器件销售;半导体照明器件销售;半导体器件专用设备销售;半导体照明器件制造;电子专用设备销售;光伏设备及元器件销售;工业机器人安装、维修;工业机器人销售;货物进出口;技术进出口;环境保护专用设备销售;非居住房地产租赁。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
联系方式
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