| 产品特性氧化扩散 | 加工定制是 |
| 品牌晨立 | 型号CL4513 |
| 用途氧化、扩散、烧结、合金 | 工艺管数量1-4管 |
| 工艺管口径Φ90～360 mm | 气源路数≤7路 |
| 单点稳定性±1.0℃/24h | 恒温区长度760～1000 mm±1.0℃ |
| 硅片尺寸156*156方片/准方片 |
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￥19.8万
￥7000.00
￥7.9万
| 产品特性氧化扩散 | 加工定制是 |
| 品牌晨立 | 型号CL4513 |
| 用途氧化、扩散、烧结、合金 | 工艺管数量1-4管 |
| 工艺管口径Φ90～360 mm | 气源路数≤7路 |
| 单点稳定性±1.0℃/24h | 恒温区长度760～1000 mm±1.0℃ |
| 硅片尺寸156*156方片/准方片 |
扩散炉
设备主要技术指标：
1. 外型形式：单管立式，加热
2. 硅片尺寸：156*156方片/准方片
3. 工作温度范围：400-1200℃
4. 恒温区长度：≥300mm，单次可装载10片156*156方形硅片，背靠背装片模式，配石英舟
5. 恒温区精度：±0.5℃/300mm
6. 气路系统：三路气体系统，采用进口MKS质量流量计、气动阀、等进口部件
7. 温度控制系统：PLC+触摸屏可编程控制方式，自动加手动可方便切换，温控系统采用进口温控仪，温度、流按工艺自动调节
8. 扩散方式：设备配置真空系统，支持负压扩散方式
9 尾气处理：设备配备尾气处理系统，采用溶液吸收发吸收尾气中的有害成分
10.冷却系统：设备配有冷水系统，用于保护密封装置及冷却加热器外壳
11. 报警及保护：超温、断偶、缺水及真空异常系统自动报警及保护
CL系列的立式扩散炉为我公司根据客户需求定制的扩散炉设备，用于太阳能电池片生产过程中对硅片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 91370282686796380X |
|---|---|---|---|
| 成立日期 | 2009-06-02 | 法定代表人/负责人 | 姜新诚 |
| 注册资本 | 200万(元) | 注册地址 | 山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼 |
| 营业期限 | 2009-06-02 至 无固定期限 | 登记机关 | 青岛市即墨区市场监督管理局 |
| 经营范围 | 一般项目：工业自动控制系统装置制造；半导体器件专用设备制造；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；电子专用设备制造；电力电子元器件制造；电子元器件制造；半导体分立器件制造；光伏设备及元器件制造；环境保护专用设备制造；工业自动控制系统装置销售；电子产品销售；半导体分立器件销售；半导体照明器件销售；半导体器件专用设备销售；半导体照明器件制造；电子专用设备销售；光伏设备及元器件销售；工业机器人安装、维修；工业机器人销售；货物进出口；技术进出口；环境保护专用设备销售；非居住房地产租赁。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） | ||
