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我国是世界很大的半导体消费市场,但产业链整体价值水平较低,尤其是关键材料与设备和零部件方面,存在较大国外品牌依赖。例如,薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体制造中关键工艺过程部件——磁悬浮分子泵,长期被国外垄断。面对“卡脖子”问题,公司积极响应国家需求,承担科技部《***规模集成电路制造技术及成套工艺》专项中“磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化”项目,多项关键技术,于2011年成功研制国内台磁悬浮分子泵,打破国外产品垄断。
公司研制出***系列一体磁悬浮分子泵,以其的性能,已广泛应用于工业过程、镀膜等领域,为半导体零部件国产化注入新活力。未来,公司将继续聚焦半导体产业发展需求,全力突破“卡脖子”技术难题,推动半导体设备零部件国产化,为中国集成电路发展持续贡献力量。
现今,越来越多地改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。因此,很近十几年来,涡轮分子泵在国内、外都得到了***的改进和发展。涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快,有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统,即使检漏仪不用液氮冷阱,质谱室也不致严重沾污,爱发科进口真空泵维修养护,并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高,并且延长离子源的使用寿命.
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分子泵油池安装注意事项①、拆油②、油量控制③、油池卫生,防颗粒④、对好、对称上紧螺钉,防止有漏
3进出口法兰、冷却水安装①、泵入口:对正、对称拧紧②、泵出口:防止错位③、冷却水:无漏水;入口水压0.2MPa;水温20±5℃;水质澄清无沉淀注意:环境温度:风冷需小于32℃;水冷可至40℃入口压强:强制风冷
电缆安装注意事项①、对正槽口插入②、用螺母拧紧,边插边拧③、检查到位
5振动隔离、冲击防护
1分子泵振动,可直接接于被抽系统。对于高精密仪器的应用(如电子显微镜),建议使用隔振器,爱发科进口真空泵养护维修,以便很大可能的减少振动。2冲击防护:高速旋转、间隙很小、柔性支撑机械振动(预抽泵、前级泵、机械动作等)
气体振动(气量突变、压强突变)
意外振动(掉入异物、碰撞等)注意:没有对泵进行必要防护,容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。
6大气载、热气体、突变气载
a引起问题:温度升高;动静片变形;转子上移;润滑失效5℃原则;轴承失效b.措施:加大水冷;增加冷却装置;缩短换油时间
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近日,真空推出了寿命***、振动更小、噪声***的新型涡轮分子泵,同时问世的还有真空专为涡轮泵转子开发的激光平衡技术。采用这项技术的相关真空泵特别适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。真空的分子泵
高度可靠的新型涡轮分子泵:安全、耐用、***、体积小巧。在控温方面,涡轮分子泵配备集成传感器,集成的转子温度测量功能可确保始终发挥很佳性能,保障其很高运行安全性。在轴承方面,的混合轴承由两部分组成:前级真空侧运用耐温高、转速高且寿命长的油润滑式陶瓷球轴承,而高真空侧则使用灵活、抗压强的永磁径向轴承。
坚固耐用的轴承材料让系列涡轮分子泵的具备更高可靠性。此外,阳江爱发科进口真空泵,相较于其他涡轮泵,体型更加小巧紧凑,可集成到各种便携式和移动式应用中。同时,该泵还具备自动配件检测功能的Micro-USB接口,在短短几步之内即可投入使用,为用户带来便捷和高的效的使用体验。
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企业类型 | 有限责任公司(自然人独资) | 统一社会信用代码 | 91440111MA59E3EQ0M |
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成立日期 | 2016-07-29 | 法定代表人/负责人 | 邹涛 |
注册资本 | 200万(元) | 注册地址 | 广州市番禺区化龙镇潭山环村公路1号之一302房 |
营业期限 | 2016-07-29 至 无固定期限 | 登记机关 | 广州市番禺区市场监督管理局 |
经营范围 | 机械技术开发服务;机械技术咨询、交流服务;机械技术转让服务;电子、通信与自动控制技术研究、开发;电子设备回收技术咨询服务;电子设备工程安装服务;电子产品批发;通用机械设备销售;消防设施设备维修、保养;安全技术防范系统设计、施工、维修;其他办公设备维修;医疗设备维修;金属制品修理;通用设备修理;商品批发贸易(许可审批类商品除外);货物进出口(专营专控商品除外);技术进出口; |