单晶钇铁石榴石YIG薄膜

单晶钇铁石榴石YIG薄膜

Matesy是高品 质单晶钇铁石榴石（YIG）薄膜的市场头部推 动者！

YIG薄膜产品描述

昊量光电全 新推出的单晶钇铁石榴石YIG薄膜，由于其微波损耗非 常低，钇铁石榴石 （YIG） 和掺杂 YIG 等单晶铁磁材料被用于微波技术中的器件。

YIG薄膜设计与功能:

通过液相外延将低缺 陷YIG薄膜沉积在单晶钆镓石榴石（GGG）上。功能晶圆的尺寸可达三英寸，可以用作基板或用于磁力和自旋电子器件的图案化。

YIG薄膜技术规格：

YIG 晶圆 – 3 英寸

• GGG衬底上的YIG：外延生长的单晶YIG

• 提供不同厚度：100 nm-20 μm（参见库存清单，<可根据要求提 供 100 nm）

• 表面粗糙度 （RMS）： 0.5 nm

• FMR 线宽 （FWHM）：10 GHz 时<2 Oe

• 厚度偏差（80%，中心）：1%

• 单面光学抛光（可根据要求在双面进行涂层）

• GGG基板厚度：0.5 ± 0.05 mm

• 晶体取向：（111）、（（100）根据要求）

YIG薄膜产品亮 点：

• 具有极 低表面粗糙度的低缺陷薄膜

• 膜厚均匀性高（中心区域>***）

• 在市场范围内使用我们的材料进行前 沿研究

YIG薄膜优势：

LPE技术与其他涂层工艺的比较：

• 实现 100 nm 至 20 μm 的薄膜厚度，同时在整个薄膜厚度上保持高 水平的结构完 美

• 可以形成非 常光滑的表面

• 低应变薄膜

  
  

YIG薄膜应用领域：

由于其非 常低的微波损耗，单晶铁磁材料，如钇铁石榴石 （YIG） 及其等 价取代的同系物，用于微波技术中的器件。例如，外延YIG涂层可用于需要微米厚薄膜的电子可调延迟块和移相器。其他应用包括集成非互易器件，如磁光隔离器和环行器，以及用于集成光学器件的布拉格单元调制器。

目前，国 际上正在努力开发这些绝缘体薄膜，作为信息处理中具有微纳米结构的自旋波器件（YIG-磁力学）的有前 途的基础材料，并通过合适的界面将它们与电子或自旋电子元件耦合。这些组件的小型化需要亚微米范围内的薄膜厚度。外延薄膜是使用液相外延 （LPE） 技术从高温溶液中生产出来的。LPE涂层技术有助于生产微米和亚微米范围的外延钇铁石榴石层，并通过适当的替 代物开发定制的功能层。

关于昊量光电：

上海昊量光电设备有限公司是光电产品专 业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国 防、量 子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提 供完 整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。