加工定制是 | 品牌成都超迈 |
型号按需定制 | 用途多种 |
产地四川南充 |
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刻蚀机是芯片制造过程中的关键设备,主要用于在芯片上进行微观雕刻。以下是刻蚀机的详细介绍:
刻蚀机的原理。刻蚀机通过使用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料,以形成光刻定义的电路图形。刻蚀技术可以分为干法刻蚀和湿法刻蚀,其中干法刻蚀是现代芯片制造中最主要的刻蚀方法,而湿法刻蚀则主要用于一些特定的应用。
刻蚀机的主要部件。包括用于产生等离子体的反应腔、射频电源、气体流量控制系统,以及用于去除生成物的真空系统。在刻蚀过程中,会使用到多种化学气体,如氟化物用于刻蚀二氧化硅,氯和氟化物用于刻蚀铝,氯、氟和溴化物用于刻蚀硅,氧化合物用于去除光刻胶。2
刻蚀机的应用。刻蚀机在电子与通信技术领域有着广泛的应用。例如,在芯片制造中,刻蚀机与光刻机紧密相连,共同完成芯片上电路图案的***制作。刻蚀机的精度和效率直接影响到芯片的性能和成本。
此外,刻蚀机的效率常用刻蚀速率、刻蚀剖面、刻蚀偏差和选择比等参数来表示。随着技术的进步,干法刻蚀技术在刻蚀率和微粒损伤等方面具有越来越大的优势,特别是在***制程的小特征尺寸精细刻蚀中发挥着关键作用。
企业类型 | 其他有限责任公司 | 统一社会信用代码 | 915101123959118015 |
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成立日期 | 2014-09-18 | 法定代表人/负责人 | 张松林 |
注册资本 | 5,000万(元) | 注册地址 | 四川省成都经济技术开发区成龙大道二段888号 |
营业期限 | 2014-09-18 至 无固定期限 | 登记机关 | 成都市龙泉驿区市场监督管理局 |
经营范围 | 研发、制造、销售:泵及真空设备,电子工业专用设备,电子真空器件,工业自动控制系统装置,光电子器件及其他电子器件,衡器、光学仪器、光学玻璃、特种陶瓷制品,玻璃、陶瓷和搪瓷制品生产专用设备,环境保护设备,光伏设备及器件,实验机、教学专用仪器,其他专用设备;销售:建材,五金交电,文化用品;计算机软件开发;货物及技术进出口业务;工程和技术研究和实验发展[依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动;未取得相关行政许可(审批),不得开展经营活动]。 |