是否进口否 | 产地马拉西亚 |
加工定制否 | 品牌Bruker |
型号DektakXT | 测量范围6寸晶圆 |
测量精度<5? | 分辨率0.1nm |
电源电压220v | 用途台阶仪薄膜厚度测试 |
是否进口否 | 产地马拉西亚 |
加工定制否 | 品牌Bruker |
型号DektakXT | 测量范围6寸晶圆 |
测量精度<5? | 分辨率0.1nm |
电源电压220v | 用途台阶仪薄膜厚度测试 |
探针式表面轮廓仪
布鲁克探针式表面轮廓仪(又称“台阶仪”)历今四十载,积累大量专有技术。从传统的二维表面粗糙度和台阶高度测量,到更高级的三维表面成像和薄膜应力测试,Dektak台阶仪适用面极广,为用户提供准确性高,重复性佳的测量结果。
在教育、科研领域和半导体制程控制,Dektak广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。近几年,Dektak系统已经成为发展的太阳能电池市场***越的测试工具,也被许多主要的光伏太阳能电池制造商所认可。
Dektak XTL
严格的质量***与控制下获得300mm优性能检测
布鲁克公司的新型Dektak XTL探针式轮廓仪系统可容纳多大350mm*350mm的样品,将Dektak有意的可重复性和再现性应用于大尺寸晶片及面板制造业。Dektak XTL集成气体隔振装置和方便的交互锁装置使仪器在全封闭工作环境下运行,是当今要求的生产环境的理想之选。它的双摄像头设置使空间感增强,其高水平自动化可限度提高生产量。
Bruker布鲁克Dektak XTL 测针轮廓仪系统
大尺寸晶片和面板测量
全新的Dektak XTL?探针式轮廓仪优异的***度、可重复性和再现性广泛应用于大尺寸晶片及面板制造业。该系统可容纳多达350mm x 350mm的样品,使得传奇性的Dektak系统可以实现从200mm到300mm的晶片制造。
DektakXTL运算符v1
Dektak XTL具有占地面积小和带联锁门的集成隔离功能,非常适合当今的生产车间环境。其双摄像头架构可增强空间意识,其高度自动化可提高制造吞吐量。布鲁克的Vision64高级生产界面带有可选的模式识别功能,使数据收集变得直观,可重复,并程度地减少了操作员之间的差异。
新的软件功能使Dektak XTL成为功能大,易于使用的手写笔探查器。该系统使用与布鲁克光学轮廓仪系列完全兼容的Vision64软件。 Vision64软件可使用数百种内置分析工具来实现***制的测量站点,3D映射和高度定制的表征。
还可以使用Vision Microform软件来测量形状,例如曲率半径。使用模式识别可程度地减少操作员错误并提高测量位置精度。数据收集以及2D和3D分析在一个软件包中,具有直观的流程。每个系统都带有Vision软件许可证,可以将其安装在装有Windows 7 OS的单独PC上,以便可以在您的办公桌上创建数据分析和报告。
DektakXTL Vision64屏幕截图
Dektak XTL已经针对持续生产工作时间和生产量在工艺开发和质量***与质量控制应用方面进行了全面优化,将本产品易使用的探针式轮廓仪。
技术细节:
***的性能和优于5埃(
· 单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性
· ***的”智能化电子器件”实现了低噪声的***
高效率且易于使用
· 直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程
· 独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量
· 自对准的探针设计使用户可以***地更换探针
探针式轮廓仪的
· 性能***,物超所值
· 完备的零配件为您优化或延伸机台的多种应用提供保障
企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 911101057832377671 |
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成立日期 | 2005-11-28 | 法定代表人/负责人 | 彭辉 |
注册资本 | 1,000万(元) | 注册地址 | 北京市朝阳区酒仙桥路14号53幢6层616室 |
营业期限 | 2005-11-28 至 2055-11-27 | 登记机关 | 北京市朝阳区市场监督管理局 |
经营范围 | 技术推广;市场调查;经济贸易咨询;展览服务;组织文化艺术交流活动(不含演出);货物进出口、技术进出口、代理进出口;销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品(不含危险化学品)。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。) |