| 产品特性晶圆甩干 | 加工定制是 |
| 品牌CSMHK | 型号SP610 |
| 用途晶圆甩干 |
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| 产品特性晶圆甩干 | 加工定制是 |
| 品牌CSMHK | 型号SP610 |
| 用途晶圆甩干 |
应用领域：可用于半导体新材料晶片、硅，砷化镓、碳化硅，掩
膜版、太阳能电池基片、蓝宝石、铌酸锂、光学镜片、磁盘、光
盘、医用玻璃基片等类似材料片子的高洁净度冲洗甩干。可达到
同类进口设备性能。
外观：
1）外形尺寸：长1059mm*宽959mm*高786mm
2）机身结构：不锈钢骨架+进口PP板外壳
3）适用2”-8”晶圆加工
工艺参数
1）PSC-X可视化触摸控制系统，可存储和运行九个可编程的配方，每个配方步骤时间0-999秒
2）旋转速度：300-1000r/min
设备配置
1）快速拆卸更换转子（单螺栓）
2）***洁净阀门管件
3）无需氮气，通过独特设计的进风系统，经过超净高效系统过滤后的新风，实现快速风干。
4）冲水清洗功能（可选配）
5）静电消除装置和电阻率检测控制和探头（可选配）
动力参数
1）电气：220V，3KW
2）CDA：Φ10气管，压力：0.25-0.3Mpa，流量：1L/min
3）DI：OD3/8管，压力：0.3-0.4Mpa，流量：20-25L/min（无选配冲水功能无此项）
4）排水：OD32mm(UPVC)
| 企业类型 | 有限责任公司(港澳台法人独资) | 统一社会信用代码 | 91130400MAC38BJC4W |
|---|---|---|---|
| 成立日期 | 2022-11-01 | 法定代表人/负责人 | 黄桥 |
| 注册资本 | 300万(元) | 注册地址 | 河北省邯郸市复兴区邯兴路399号 |
| 营业期限 | 2022-11-01 至 2052-10-31 | 登记机关 | 邯郸市市场监督管理局 |
| 经营范围 | 一般项目：半导体器件专用设备制造；集成电路制造；光伏设备及元器件制造；工业自动控制系统装置制造；电子元器件制造；电子测量仪器制造；机械电气设备制造；五金产品制造；塑料制品制造；集成电路芯片及产品销售；半导体器件专用设备销售；机械电气设备销售；工业控制计算机及系统销售；电子专用设备销售；电力电子元器件销售；工业设计服务；信息技术咨询服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；技术进出口；进出口代理；五金产品研发；专用设备修理；工业机器人安装、维修。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） | ||
