【SEMSYSCO晶圆电镀平台：TRITON单晶片平台】价格

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更新时间 : 2024-05-31

产品特性SEMSYSCO	加工定制是
品牌SEMSYSCO	型号TRITON单晶片平台
用途SEMSYSCO	别名SEMSYSCO
规格SEMSYSCO

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SEMSYSCO晶圆电镀平台：TRITON单晶片平台

TRITON SINGLE WAFER PLATFORM

TRITON单晶片平台

从其创立到2013年***交付，Triton平台被设计为适用于所有单晶圆湿法工艺的稳定但模块化的主力。

我们工具的模块化构建使我们的客户能够为大规模生产的单过程工具以及瑞士军刀研发或原型工具配置工具，而不会影响性能或可靠性。

构架

在模块化框架内，我们不断创新平台。

我们的客户可以选择为其工具配备高速电镀系统，以代替传统的喷泉式电镀机，或者选择一个上部腔室，该上部腔室允许在电镀腔室上方进行预润湿以及最终漂洗/干燥，而无需机械手移动。

灵活性

我们为客户提供的灵活性。可以随时准备工具来支撑其他腔室和/或容器，因此它会随着您的工艺需求而增长。我们的模块化思维使将新开发的腔室添加到具有扩展空间的现有工具中成为可能，从而确保了客户的投资前景。

TRITON CUSTOMER ADDED VALUES

***速度和质量记录

面向客户和未来

高度创新，可满足客户需求

每个腔室处理一种以上基板尺寸的可能性极小或无需重新配置

模块化平台

升级的新湿法

建立高通量处理室

TRITON HIGHLIGHTS

TRITON的亮点

处理3英寸至450 mm的基板

可以处理两到三种不同尺寸的基板，而无需进行最少的配置或无需重新配置-无需对腔室进行重新鉴定

获得专利的高速电镀技术可提供更高的通量和更好的均匀性-无需改变化学成分

准备好工业4.0 –控制和监视所有过程参数

电镀均匀度3％或更高

蚀刻均匀度3％或更高

在线加药系统

在线化学监测

在线气体检测以确保安全

多种蚀刻工艺的终点检测

供应商信息

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亚科提供设备：检测设备：原子力显微镜、三维光学表面轮廓仪（白光干涉仪）、台阶仪、摩擦磨损测试仪、桌面扫描电镜、场发射电镜、X射线衍射仪XRD、X射线荧光光谱仪、傅里叶红外光谱仪、椭偏仪、反射仪；前道工艺设备：PVD、PECVD、ICPECVD、LPCVD、氧化炉、快速退火炉、高温氧化炉、PE-ALD、分子束外延MBE、离子注入设备、扩散炉、晶圆键合机、光刻机、纳米压印设备、匀胶显影设备、感应耦合等离子体刻蚀机ICP、反应离子刻蚀机RIE、深硅刻蚀设备、气体刻蚀设备、离子束刻蚀机、湿法刻蚀、研磨抛光机、划片机、湿法清洗机；微组装设备：粘片机（全自动和半自动）、键合机（全自动和半自动）、封焊机、推拉力测试仪、倒装焊等； LTCC设备：流延机、裁片机、冲孔机、印刷填孔机、叠片机、层压机\等静压机\温水压机、切割机、排胶机、烧结炉等。公司主营设备： 1. 整套半导体设备 2. 整套微组装设备 3. 整套SMT设备 4. LTCC线和线缆加工设备北京亚科晨旭科技有限公司地址：北京市朝阳区酒仙桥路甲12号电子城科技大厦14层1408室葛女士市场主管电话：010-84799262-809 传真：010-84799265

企业类型	有限责任公司(自然人投资或控股)	统一社会信用代码	911101057832377671
成立日期	2005-11-28	法定代表人/负责人	彭辉
注册资本	1,000万(元)	注册地址	北京市朝阳区酒仙桥路14号53幢6层616室
营业期限	2005-11-28 至 2055-11-27	登记机关	北京市朝阳区市场监督管理局
经营范围	技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）

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