| 产品特性快速热工艺 | 加工定制是 |
| 品牌centrotherm 德国 | 型号Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150 |
| 用途Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150 | 订货号Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150 |
| 货号Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150 | 别名Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150 |
| 规格Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150 | 是否跨境货源否 |
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| 产品特性快速热工艺 | 加工定制是 |
| 品牌centrotherm 德国 | 型号Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150 |
| 用途Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150 | 订货号Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150 |
| 货号Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150 | 别名Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150 |
| 规格Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150 | 是否跨境货源否 |
Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150
一、产品简介
德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商，尤其在高温设备领域。Centrotherm RTP 150是一款高性能快速热工艺设备，主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。
RTP 150型快速热反应设备，采用紧凑型的真空腔室设计满足多种工艺需要，是一款可用于生产和研发用的单晶圆工艺设备。
RTP 150型设备包括一个带集成压力学习控制压力范围在1mbar至50mbar的真空腔室。采用灯管加热系统提供了可调节的加热均匀性控制，采用了CENTROTHERM公司专利技术的温度控制系统。
RTP系统可用于6寸晶圆和5寸石墨基板的加热。可在15分钟内更换基板的尺寸和类型。
设备用于高性能、小占地面积、低成本高工艺灵活性的工艺场合。
设备特点：
压力可控的真空或大气环境下工作
高灵活性：6寸硅片或其他材料
温度范围：20℃~1150℃
不***加热的工艺温度可达 750℃
升温速率可达150k/s（即150℃/秒）
每个加热灯管独立控制，极高的温度均匀性
±0.5℃温度一致性
长寿命加热灯管，低维护成本
典型应用：
金属接触退火
掺杂物活化
源极/漏极退火
干氧化
薄晶圆退火
设备参数：
应用： 生产或研发
基板材料： 硅片、GaAs、石墨、碳化硅、氮化镓、蓝宝石
晶圆尺寸： 6寸
加热系统： 24组加热灯，PWM控制
冷却水： 20 L/分钟
排 风： 250 m3/小时
可选件：
用于温度曲线调整的温度测量系统
用于全自动操作的双机械手臂
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 911101057832377671 |
|---|---|---|---|
| 成立日期 | 2005-11-28 | 法定代表人/负责人 | 彭辉 |
| 注册资本 | 1,000万(元) | 注册地址 | 北京市朝阳区酒仙桥路14号53幢6层616室 |
| 营业期限 | 2005-11-28 至 2055-11-27 | 登记机关 | 北京市朝阳区市场监督管理局 |
| 经营范围 | 技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。） | ||
