| 产品特性SENTECH | 加工定制是 |
| 品牌SENTECH | 型号SENTECH 平行板式PECVD沉积系统 |
| 用途SENTECH 平行板式PECVD沉积系统 | 别名SENTECH 平行板式PECVD沉积系统 |
扫一扫 微信联系
| 产品特性SENTECH | 加工定制是 |
| 品牌SENTECH | 型号SENTECH 平行板式PECVD沉积系统 |
| 用途SENTECH 平行板式PECVD沉积系统 | 别名SENTECH 平行板式PECVD沉积系统 |
SENTECH 平行板式PECVD沉积系统-SI 500 PPD
SENTECH仪器（德国）有限公司是国际主流的半导体设备商，研发、制造和销售***的薄膜测量仪器（反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪）和等离子工艺设备（等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统）。
SI 500 PPD是电容平板式PECVD等离子沉积设备，主要用于SiO2，SiOxNy，SiNy，a-Si，SiC薄膜的沉积 。适用于2"--8" 样片的薄膜沉积。
图1、SI 500 PPD 设备外形图
系统配置：
? 电源13.56 MHz, 600 W
? 驱动电极集成了淋浴头和暗区屏蔽
? 6 MFC控制气路(SiH4, NH3, N2O, O2, Ar, CF4)
? 预真空锁loadlock， 带有取放机械手
? 高速率真空泵系统，独立气流压强控制
? 上电极和下电极分别加热，具备高的长期可靠性和工艺重复性
? 基底温度20?C至350?C
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 913101147743437873 |
|---|---|---|---|
| 成立日期 | 2005-04-26 | 法定代表人/负责人 | 彭波 |
| 注册资本 | 1,000万(元) | 注册地址 | 上海市嘉定工业区叶城路925号B区4幢JT30367室 |
| 营业期限 | 2005-04-26 至 2045-04-25 | 登记机关 | 嘉定区市场监督管理局 |
| 经营范围 | 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；会议及展览服务；组织文化艺术交流活动；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；机械设备销售；电子产品销售；建筑材料销售；货物进出口；技术进出口；进出口代理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） | ||
