| 产品特性直开式 | 加工定制否 |
| 品牌samco | 型号RIE |
| 用途等离子刻蚀，RIE ,ICP Dry Etching | 别名刻蚀机 |
| 规格500mm(W)x920mm(D)x1500mm(H) |
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| 产品特性直开式 | 加工定制否 |
| 品牌samco | 型号RIE |
| 用途等离子刻蚀，RIE ,ICP Dry Etching | 别名刻蚀机 |
| 规格500mm(W)x920mm(D)x1500mm(H) |
反应腔体: Aluminum 400mm(W)x400mm(D)x170mm(H)
下电极： Aluminum Φ240ｍｍ liquid cooled
基板尺寸： 8寸1片，4寸2片，3寸4片，2寸7片Wafer
RF电源：13.56MHz Max 300W
Gas系统：2MFC controlled gas lines （Max 6）
真空系统：分子泵+油转泵
设备尺寸： 500mm(W)x920mm(D)x1500mm(H)
(选配： 增加工艺气体线路，终点监测，室温循环系统
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人独资) | 统一社会信用代码 | 91310116568007360P |
|---|---|---|---|
| 成立日期 | 2011-01-05 | 法定代表人/负责人 | 李力钊 |
| 注册资本 | 100万(元) | 注册地址 | 上海市金山区枫泾镇环东一路65弄13号1477室 |
| 营业期限 | 2011-01-05 至 无固定期限 | 登记机关 | 金山区市场监督管理局 |
| 经营范围 | 从事光电科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务，晶体材料，陶瓷材料，半导体材料，橡塑制品，化工原料及产品（除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品），光电设备及配件，半导体设备及配件，机械设备及配件销售，从事货物进出口及技术进出口业务。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】 | ||
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