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超声波沉积光刻胶雾化喷涂设备

在传统的高速旋涂无法提供均匀覆盖深孔形貌或高纵横比的应用中,超声波光刻胶喷涂系统用均匀的光刻胶薄膜涂覆半导体成为了完整的解决方案。 展开

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产品特性喷雾技术是否进口
产地杭州加工定制
品牌FUNSONIC型号FS620
动力形式电动式无气喷涂机种类雾化喷涂
重量0Kg适用范围详询
最大输出压力220N/S功率0w
空气消耗量详询空载排量详询
喷射宽度详询喷嘴直径详询
压力比详询最佳喷射距离详询
规格详询是否跨境货源
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超声波沉积光刻胶雾化喷涂设备










介绍:

       在传统的高速旋涂无法提供均匀覆盖深孔形貌或高纵横比的应用中,超声波沉积光刻胶雾化喷涂设备用均匀的光刻胶薄膜涂覆半导体成为了完整的解决方案。与传统的旋涂相比,采用超声波喷涂的光致抗蚀剂涂层在沉积更均匀的涂层方面具有优势,特别是在高深宽比沟槽和v形槽结构中沿侧壁顶部沉积时,离心旋涂无法沉积均匀的涂层沿着侧壁形成膜,而没有过多的光致抗蚀剂沉积在腔体的底部。事实证明,使用超声技术进行直接喷涂是将光刻胶沉积到3D微结构上的可靠且***方法,从而减少了因金属过度暴露于抗蚀剂涂层而导致的设备故障。


组成:

       整机由超声波雾化喷嘴,专用驱动电源,XYZ三轴联动伺服系统,智能化操作系统,液体供给系统,低速空气整形装置,外壳箱体等组成。


优势:

  •   各种表面轮廓的高均匀薄膜覆盖率。

  •   能够以高均匀度涂覆高深宽比的沟槽。

  •   无堵塞的雾化喷涂。

  •   能够以高均匀度沉积薄的单微米层。

  •   经过验证的可重复喷涂工艺。

应用:

       用于具有不同形貌的MEMS晶片和其他基板。


服务:

       我们提供用于雾化喷涂的各种超声波处理器。我们也随时为您提供满意的加工定制服务并为您提出解决方案。


供应商信息

杭州泛索能超声科技有限公司成立于2018年,由多位在大功率超声波领域均超过10年实战经验的专家***创立,是一家拥有自主研发、生产和销售能力的专业生产商,已与国内外超过300家在各***的研究院所、高校、企业进行了深度合作、研发、生产,产品拥有强大的核心竞争力,我们牢记使命,质量优先,勇于创新,产品已获得多项国家专利。我们深耕于超声波应用行业,促进国内超声应用的快速发展,积极填补国内超声应用空白。在时代浪潮中,我们不断强化公司管理,逐步确立竞争优势,公司品牌在***,已经拥有广泛影响力和良好的***。

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企业类型 有限责任公司(自然人投资或控股) 统一社会信用代码 91330127MA2CDMM7XG
成立日期 2018-08-13 法定代表人/负责人 余捷
注册资本 500万(元) 注册地址 浙江省杭州市淳安县千岛湖镇进贤村亚山108号
营业期限 2018-08-13 至 无固定期限 登记机关 淳安县市场监督管理局
经营范围 超声波换能器,超声波发生器,超声波整机设备的研发、生产;超声波焊接机设备及配件、普通机械设备及配件、机电设备及配件、汽车配件生产及销售;超声波技术服务,技术成果转让;货物及技术进出口(法律、行政法规禁止经营的项目除外,法律、行政法规限制经营的项目取得许可证后方可经营)(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
联系方式
余先生总经理
杭州泛索能超声科技有限公司
浙江 杭州 富阳区 场口镇场泰街16号科创产业园2幢4层
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