北京实验室供应石墨烯制备供气系统流量计 多种混合器

• 产品简介

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• 气体质量流量控制器（MFC）和气体质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器。

• CS200-A,C,D型MFC/ MFM是七星电子生产的数字型产品，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号，0～5V模拟信号，4～20mA或0~20mA模拟信号，可以使用双电源（±8～±16 VDC）或单电源（+14～+28 VDC）。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件Digital MFC。CS200-C与CS200-D产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，其中CS200-C金属表面符合SEMI标准的要求。

• CS200-A,C,D MFC默认配置为：

• MAC地址：32；

• RS485通信波特率:19200；控制方式：0～5V电压控制。更多细节请参考产品附带光盘中的“CS系列MFC通讯协议”。

• CS200数字式气体质量流量控制器

• 产品型号：CS200C

• 产品系列：CS系列数字式质量流量控制器

• 产品类型：高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,抗电磁干扰

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• 技术资料

• 产品型号       CS200

• 产品类型       高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,抗电磁干扰

• 流量量程       2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm

• 产品精度       ±0.35％F.S.(＜35% F.S.)±1.0% S.P.(≥35% F.S.)

• 重复精度       ±0.2% FS

• 线性              ±0.5% F.S.

• 响应时间       ≤0.8sec

• 工作温度范围       (0~50)°C

• 耐压                        3MPa

• 密封材料               金属密封Metal

• 输入输出信号       (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus

• 电源                      ±15V,24V,±8 ~±16 VDC or +14 ~ +28 VDC

• 阀类型                    常开或常闭

• 温度系数                Span:≤±0.05% F.S./℃,Zero:≤±0.05% F.S./℃

• 零点飘移指标       ＜0.6%F.S. per year without autozero

• 电气连接                Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male

• 工作压差范围       (0.05～0.35) MPa（F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）

• 漏率                        1×10-10atm?cc / sec He（1×10-11 Pa?m3 / sec He）

• 标准接头形式       双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型

• 表面化学成分       CrO thickness＞20 Angstroms

• 表面粗糙度          10μinch

• 抗电磁干扰      CE

• 重量                      1.2Kg

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