供应CS200D 数字式气体质量流量控制器

CS200

型号

CS200-A

CS200-C

CS200-D

阀类型

常开(流量规格≤30SLM)

或常闭

无

常开或常闭

无

常开或常闭

无

流量规格(N₂)

(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM

(0～1,2,3,5,10,20,30,50)         SLM

(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM

(0～1,2,3,5,10,20,30)                   SLM

准确度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)

±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 1sec

≤ 0.8sec

工作压差范围

0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 

0.1～0.35MPa  10＜流量规格≤30SLM

0.2～0.45MPa  30＜流量规格≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM

0.1～0.35MPa  流量规格＞10SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM

0.1～0.35MPa  流量规格＞10SLM

＜0.02 MPa

温度系数

零点: ≤±0.05% F.S/℃；

调节时: ≤±0.1% F.S/℃  流量规格≤30SLM

调节时: ≤±0.2% F.S/℃  流量规格＞30SLM

零点: ≤±0.02% F.S/℃；调节时: ≤±0.05% F.S/℃

耐压

3MPa

漏率

1×10-10 Pa·m3 /  sec He

1×10-11 Pa·m3 /  sec He

密封材料

氟橡胶；

金属密封

工作环境温度

（5～45）℃

（0～50）℃

输入信号

数字: RS485 或  DeviceNet或ProfiBus

模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA

无

数字: RS485 或  DeviceNet

或ProfiBus

模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA

无

数字: RS485 或  DeviceNet

或ProfiBus

模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA

或(0～20)mA

无

输出信号

数字:RS485或 DeviceNet 或ProfiBus 

模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA

零漂

在没有零点校正时＜0.6%F.S/年

电源

±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极)

表面化学成分

常态

Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 （埃）

常态

表面粗糙度

25 Ra

10 Ra

25 Ra

标准接头形式

双卡套 φ6；双卡套1/4??；双卡套3/8??；VCR1/4??阳接头；双卡套φ3；

双卡套1/8??；VCO 1/4";φ6(内)x1软管接头; φ5(内)x1.5软管接头;

φ4(内)x1软管接头;双卡套φ10mm；A型密封接头;

双卡套φ3；双卡套φ6；双卡套1/4；VCR1/4阳接头； 

1.5??C型密封接头;1.5?? W型密封接头

电源接头形式

D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头； ProfiBus接头；模拟接头

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg