加工定制是 | 品牌sevenstar 七星华创 |
型号D07-15 | 类型质量流量计 |
测量范围0-5slmm3/h | 精度等级±1%F.S. |
适用介质纯净,干燥的气体 |
加工定制是 | 品牌sevenstar 七星华创 |
型号D07-15 | 类型质量流量计 |
测量范围0-5slmm3/h | 精度等级±1%F.S. |
适用介质纯净,干燥的气体 |
表1. 15、15A型MFC性能指标
编号 | 项 目 | D07-15 | D07-15A |
1 | 流量规格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5) SLM | |
2 | 准确度 | ± 1 % F.S. | |
3 | 线性 | ±0.5% F.S. | |
4 | 重复精度 | ±0.2 %F.S. | |
5 | 响应时间 | ≤4 sec | |
6 | 工作压差范围 | (0.1 ~ 0.3) MPa | |
7 | 耐压 | 3 MPa | |
8 | 工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | |
9 | 输入输出信号 | 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) | |
10 | 电源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA | |
11 | 外形尺寸 | 见图4、图5 | |
12 | 重量 | 0.85 kg | 0.9 kg |
注意:
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
F.S (FullScale): 满量程值
企业类型 | 有限责任公司(法人独资) | 统一社会信用代码 | 91110302MA00B9MQ4G |
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成立日期 | 2017-01-10 | 法定代表人/负责人 | 刘利坚 |
注册资本 | 1,487.6362万(元) | 注册地址 | 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号院1号楼4层4S01 |
营业期限 | 2017-01-10 至 无固定期限 | 登记机关 | 北京经济技术开发区市场监督管理局 |
经营范围 | 技术开发、技术转让、技术咨询、技术推广、技术服务;技术进出口、货物进出口、经济贸易咨询;生产半导体器件、电子元器件、工业自动控制系统装置、液压动力机械及元件;销售电子元器件、仪器仪表、机械设备、电气设备、电子产品、金属材料、金属制品、非金属材料、五金交电(不含电动自行车);设备维修;生产及销售气体质量流量控制器;第二类增值电信业务。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;第二类增值电信业务以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。) |