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双面抛光硅片激光切割镀膜晶圆激光打孔刻槽加工

硅片晶圆激光切割打孔刻槽技术具有无接触、无机械应力、切缝宽度小、断面平整光滑、精度高、速度快、性能稳定等优势;不会损伤硅片结构。 展开

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更新时间 : 2024-04-11
产品特性切割精度高加工类型激光切割
工件材质半导体材料加工产品范围晶圆硅片
打样周期1-3天加工周期4-7天
年最大加工能力999999件年剩余加工能力888888件
切割材质晶圆硅片加工精度±20μm
加工厚度0.1-2.5mm加工幅面350*300mm
最小线宽100um最小孔径20μm
设备类型皮秒、纳秒型号CN221116254
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双面抛光硅片激光切割镀膜晶圆激光打孔刻槽加工






激光切割硅片应用行业:

半导体集成电路,包括单双台面玻璃钝化二极管晶圆切割划片,单双台面可控硅晶圆切割划片,砷化镓,氮化镓,IC晶圆切割划片。

 硅片切割机又名硅片激光切割机,激光划片机。是激光划片机在 电子行业硅基片的切割的又一新领域的应用。激光划片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件不易变形。热影响极小,划精度高,广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。

激光划片机主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料划片和切割,可加工太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等,工件精细美观,切边光滑。采用连续泵浦声光调Q的Nd:YAG激光器作为工作光源,由计算机控制二维工作台,能按输入的图形做各种运动。输出功率大,划片精度高,速度快,可进行曲线及直线图形切割。

传统硅片切割方式是机械切割,速度慢、断面平整性差、碎片多、不环保。硅是一种脆性材料,机械切割极易使边缘产生破裂,造成硅表面弹性应变区、位错网络区和碎晶区的组成层损伤,甚至可能造成隐形裂纹,影响电性参数等危害。激光切割技术具有无接触、无机械应力、切缝宽度小、断面平整光滑、精度高、速度快、性能稳定等优势;不会损伤硅片结构,电性参数要优于传统的机械切割方式,可应用于大面积电池片进行划线切割,做到***控制切割精度及厚度,进一步减少切割碎屑,提高电池利用率。


供应商信息

北京华诺恒宇光能科技有限公司技术开发;图文设计;销售机械设备、家用电器、电子产品。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

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企业类型 有限责任公司(自然人独资) 统一社会信用代码 91110106794094327G
成立日期 2006-09-14 法定代表人/负责人 张卫梅
注册资本 200万(元) 注册地址 北京市丰台区南三环西路88号花卉研究中心2102号
营业期限 2006-09-14 至 无固定期限 登记机关 北京市工商行政管理局丰台分局
经营范围 技术开发;图文设计;销售机械设备、家用电器、电子产品。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
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北京 丰台区 北京市丰台区南三环西路88号花卉研究中心2102号
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