| 产品特性椭圆仪 | 是否进口否 |
| 产地美国 | 品牌Axometrics |
| 型号EllipsoStep |
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| 产品特性椭圆仪 | 是否进口否 |
| 产地美国 | 品牌Axometrics |
| 型号EllipsoStep |
成像光谱椭圆仪
概述
EllipsoStep系统是目前成像速度最快的椭圆仪。EllipsoStep可以在4秒内测量全分辨率椭圆图像（Psi，Delta，强度）。专门设计的光学元件使EllipsoStep系统能够使用250nm至1000nm的扩展波长范围测量样品。
与传统的零椭圆成像器不同，椭圆成像器的速度要慢得多，并且需要插值算法来测量完整的图像，而EllipsoStep可以逐像素地快速直接地测量样品的椭圆属性。
EllipsoStep成像椭圆仪系统可以执行横向分辨率小于1 um的测量，这比使用微点技术的进的传统椭圆仪小50倍。
EllipsoStep系统使用各种光学附件，允许用户实时查看样品的显微图像，当与Axometrics的高级分析特性结合使用时，可以测量薄膜厚度和折射率等特性。与所有其他轴测测量系统一样，EllipsoStep还包括各种可用的桌面式，大型和生产测量夹具
规格
| ISE-UV-VIS-NIR | |
|---|---|
| 设计 | 旋转补偿器椭圆仪 |
| 探测器类型 | CMOS相机（16位） |
| 分辨率 | 约1200 x 1200 |
| 传感器尺寸 | 13.2毫米 x 13.2毫米 |
| TEC冷却 | 是的 |
| 测量时间 | 2.4 秒 |
| 波长范围 | 250纳米-1000纳米 |
| 厚度重复性 （3σ） | 0.3纳米 |
| 折射率重复性 （3σ） | 0.001 |
应用
EllipsoStep系统允许逐点椭圆映射，能够测量厚度和折射率特性，适用于各种薄膜应用。包括
半导体：椭圆偏振法是当前半导体测量的行业标准。通过增加显微成像的能力，用户可以更好地改进他们的制造工艺。
LCD/OLED显示器：LCD和OLED显示器都使用薄膜沉积技术。Axometrics目前可以利用我们在显示技术方面的经验，并将其应用于制造过程的这些部分。
聚合物：聚合物薄膜目前用于显示器行业的薄膜结构，可以使用EllipsoStep进行表征。
太阳能电池：替代能源是一个非常大的新兴市场，椭圆偏振仪是开发下一代太阳能电池的关键工具。
石墨烯：对石墨烯等2D材料的新兴技术非常感兴趣。椭圆偏振成像是表征这些快速发展技术的新工艺的宝贵工具
测量示例
EllipsoStep软件为测量和分析图案化样品提供了一个方便的界面。测量完成后，操作员可以返回并测试图像中的不同区域。下面的示例显示了跨越两个不同区域的线扫描：一个在Si上具有95 nm的SiO2，另一个在Si上具有天然氧化物。
以下示例显示了大型溅射机上靠近基板边缘的阴影掩模角落处的涂层厚度滚落。可以计算 2D 曲面图或 1D 线扫描。即使厚度在图像中随多个延迟顺序变化，EllipsoStep也可以在图像内的任何位置确定正确的胶片厚度。
凭借其1μm的空间分辨率，EllipsoStep可以直接测量表面粗糙度或厚度均匀性。
还可以同时测量测试元件组（TEG）内的多个区域。模式匹配例程可以自动识别图像中的元素，并自动将正确的椭圆配方应用于每个区域。
联系Axometrics讨论您的应用或提供样品进行演示测量。
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人独资) | 统一社会信用代码 | 91320505MA26ERRF0F |
|---|---|---|---|
| 成立日期 | 2021-07-02 | 法定代表人/负责人 | 黄罗龙 |
| 注册资本 | 100万(元) | 注册地址 | 苏州市吴中区木渎镇金枫南路9号4幢325室 |
| 营业期限 | 2021-07-02 至 9999-12-31 | 登记机关 | 苏州市吴中区行政审批局 |
| 经营范围 | 许可项目：技术进出口；货物进出口（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准）一般项目：电子产品销售；电子元器件零售；电子元器件批发；仪器仪表销售；五金产品批发；五金产品零售；劳动保护用品销售；建筑材料销售；轻质建筑材料销售；办公设备销售；办公设备耗材销售；化工产品销售（不含许可类化工产品）；机械设备销售；通信设备销售；照明器具销售；包装材料及制品销售；日用百货销售；化妆品零售；化妆品批发；箱包销售；工艺美术品及礼仪用品销售（象牙及其制品除外）；汽车零配件零售；汽车零配件批发；玩具销售；软件开发；环境保护专用设备销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；国内贸易代理；社会经济咨询服务；人工智能应用软件开发（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） | ||
￥1200.00
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