| 是否进口否 | 产地上海 |
| 加工定制是 | 品牌隽思 |
| 型号JS-HMDS90 | 功率3000W |
| 材质不锈钢 | 温度范围200℃ |
| 主要用途HMDS |
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| 是否进口否 | 产地上海 |
| 加工定制是 | 品牌隽思 |
| 型号JS-HMDS90 | 功率3000W |
| 材质不锈钢 | 温度范围200℃ |
| 主要用途HMDS |
JS-HMDS90HMDS预处理系统 HMDS预处理烘箱 HMDS涂胶系统用途：
在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂 HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS气相沉积至半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后，经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。
JS-HMDS90HMDS预处理系统 HMDS预处理烘箱 HMDS涂胶系统技术性能：
1.尺寸（深*宽*高）
内腔尺寸：450×450×450（mm）（可定制）
外形尺寸：750×1120×1650（mm）
2. 材质
外箱采用优质冷轧板喷塑，内箱采用 316L 医用级不锈钢
3.温度范围
RT+50-200℃
4.温度分辨率
0.1℃
5.温度波动度
≤±0.5
6 真空度
≤133pa（1torr）
7.电源及总功率
AC 220V±10% / 50HZ
总功率约 3.5KW
8.控制仪表
人机界面
9.搁板层数
2 层
10.HMDS控制
可控制HMDS 药液添加量
11.真空泵
无油涡旋真空泵
JS-HMDS90HMDS预处理系统 HMDS预处理烘箱 HMDS涂胶系统厂商
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 91310117561870938T |
|---|---|---|---|
| 成立日期 | 2010-09-03 | 法定代表人/负责人 | 冉续红 |
| 注册资本 | 100万(元) | 注册地址 | 上海市松江区新浜镇许村公路601号 |
| 营业期限 | 2010-09-03 至 2040-09-02 | 登记机关 | 松江区市场监督管理局 |
| 经营范围 | 实验仪器、日用百货、金属材料、机电设备、五金交电批发零售；实验仪器领域内的技术咨询、技术服务、技术开发、技术转让，实验仪器设备、制冷设备、干燥箱生产、加工、销售、维修。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】 | ||
