是否进口否 | 产地上海 |
加工定制是 | 品牌上海旦顺 |
型号 COL-2D-PC | 功率14kwW |
订货号 COL-2D-PC | 货号 COL-2D-PC |
材质不锈钢 | 温度范围 +60~ 200℃℃ |
主要用途烘烤 | 产品认证 COL-2D-PC |
是否跨境货源否 |
是否进口否 | 产地上海 |
加工定制是 | 品牌上海旦顺 |
型号 COL-2D-PC | 功率14kwW |
订货号 COL-2D-PC | 货号 COL-2D-PC |
材质不锈钢 | 温度范围 +60~ 200℃℃ |
主要用途烘烤 | 产品认证 COL-2D-PC |
是否跨境货源否 |
单晶硅清洗烘烤箱 硅片清洗无尘箱 超洁净烘箱 |
无尘烘箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂胶后的软烘焙Soft baking),曝光、显***的坚膜硬烘(Hard baking)等工艺,适用半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料的洁净、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、医药、光学镀膜、精密元件干燥等生产工艺以及研发机构。
一.无尘烘箱特点:
1.可对接MES系统
2.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100
3.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
4.采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产
生PARTICLE;
5.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"装置往前门(特殊风道设计)
方向送风,过滤效率99.***,Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)
二.无尘烘箱产品技术参数
1.名称及型号:无尘烘箱 COL-2D-PC
2.主要技术指标:
2.1无尘等级:Class 100;
2.2温度范围: +60~ 200℃,
2.3温度均匀度:±1.5%℃(空载测试)
2.4温度***度:±1℃(空载)
2.5设备型号:
型号 | 工作室尺寸(mm) | 外形尺寸(mm) | 加热功率 | 台数 | 层板 |
COL-2D-PC | W600×H550×D600(上) W600×H550×D600(下) | W1460×H1590×D825 | 14kw | 1台 | 2片 |
3、温控系统
3.1采用智能控制系统,日本优易控 10〃TFT真彩触摸薄屏
程式编辑:可预编120个程式,每个程式可编99段,共1200段
历史数据查询(数据可以通过USB接口导出)
3.2讯号来源:采日制进口CA感应棒±0.5%。
3.3输出被控制组件:SSR无接点讯号输出。
4、完善的安全保护措施:漏电保护//过热保护 报警//电机保护 报警//门锁, 工作时门自动锁//异
常显示(红色警示灯)
公司名称:上海旦顺实业有限公司
业务经理:蒋鑫; 手机号:15221744475
24小时服务热线:400-823-8860
公司主页:
企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 913101166972879608 |
---|---|---|---|
成立日期 | 2009-12-01 | 法定代表人/负责人 | 蒋艳英 |
注册资本 | 500万(元) | 注册地址 | 上海市闵行区紫星路588号1幢12层323室 |
营业期限 | 2009-12-01 至 2029-11-30 | 登记机关 | 闵行区市场监督管理局 |
经营范围 | 建筑工程,实验室设备(除医疗器械),医疗器械(仅限不需要医疗器械许可证的品种),化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品),办公家具,金属制品,机电设备及配件,不锈钢制品,制冷设备,电子产品及元器件,仪器仪表,建筑材料,五金交电,通信设备及相关产品,玻璃制品销售,商务咨询(除经纪),从事机电设备领域内的技术开发、技术咨询、技术服务,计算机软件开发。 【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】 |