| 加工定制是 | 品牌隽思 |
| 型号JS | 类型真空干燥箱 |
| 材质304 | 温度范围160℃ |
| 功率4kw | 工作室尺寸450mm |
| 重量100kg | 适用范围HMDS涂胶 |
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| 加工定制是 | 品牌隽思 |
| 型号JS | 类型真空干燥箱 |
| 材质304 | 温度范围160℃ |
| 功率4kw | 工作室尺寸450mm |
| 重量100kg | 适用范围HMDS涂胶 |
HMDS涂胶机，HMDS涂胶烤箱技术参数：
电源电压：AC 220V±10%/50Hz±2%
输入功率：2000W
控温范围：RT+20℃-160℃
温度分辨率：0.1℃
温度波动度：±0.5℃
达到真空度：-100KPa
容积：90L
工作室尺寸（mm）：450*450*450
HMDS涂胶机，HMDS涂胶烤箱的必要性：
在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。
HMDS涂胶机，HMDS涂胶烤箱的原理：
HMDS预处理系统通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 91310117561870938T |
|---|---|---|---|
| 成立日期 | 2010-09-03 | 法定代表人/负责人 | 冉续红 |
| 注册资本 | 100万(元) | 注册地址 | 上海市松江区新浜镇许村公路601号 |
| 营业期限 | 2010-09-03 至 2040-09-02 | 登记机关 | 松江区市场监督管理局 |
| 经营范围 | 实验仪器、日用百货、金属材料、机电设备、五金交电批发零售；实验仪器领域内的技术咨询、技术服务、技术开发、技术转让，实验仪器设备、制冷设备、干燥箱生产、加工、销售、维修。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】 | ||
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