| 加工定制否 | 类型四探针测试仪 |
| 品牌 | 型号ZK14-RTS4 |
| 测量范围M407253MΩ | 电 源M407253 |
| 测试电压M407253V | 精度M407253 |
| 重复误差M407253 | 环境温度M407253 |
| 相对湿度M407253 | 校准周期M407253 |
| 重量M407253kg | 尺 寸M407253 |
| 规格M407253 |
| 加工定制否 | 类型四探针测试仪 |
| 品牌 | 型号ZK14-RTS4 |
| 测量范围M407253MΩ | 电 源M407253 |
| 测试电压M407253V | 精度M407253 |
| 重复误差M407253 | 环境温度M407253 |
| 相对湿度M407253 | 校准周期M407253 |
| 重量M407253kg | 尺 寸M407253 |
| 规格M407253 |
库号：M407253
四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的，于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了新电子技术进行设计、装配。具有功能直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
技术指标
测量范围
电阻率：0.0001～2000Ω.cm(可扩展)；
方块电阻：0.001～20000Ω/□(可扩展)；
电导率：0.0005～00s/cm；
电阻：0.0001～2000Ω；
可测晶片直径
140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
恒流源：电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、mA四档，各档电流连续可调
数字电压表：量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
输入阻抗：>0MΩ；
精度：±0.1%；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标间距：1±0.01mm；
针间绝缘电阻：≥0MΩ；
机械游移率：≤0.3%；
探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
探针压力：5～16牛顿(总力)；
四探针探头应用参数(见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
(按JJG508-87进行)0.1Ω、1Ω、10Ω、Ω小于等于0.3%±1字
整机测量相对误差(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度≤5%
软件功能（选配）软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据值、小值、平均值、变化、平均变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可自动测量功能，根据样品电阻大小自动适合电流量程档测试。
计算机通讯接口：并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5秒
标准使用环境温度：23±2℃；
相对湿度：≤65%；
无高频干扰；
无强光直射；
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 91110108306365694G |
|---|---|---|---|
| 成立日期 | 2014-06-19 | 法定代表人/负责人 | 兰斌 |
| 注册资本 | 520万(元) | 注册地址 | 北京市海淀区上地信息产业基地三街1号楼四层C段4C-14 |
| 营业期限 | 2014-06-19 至 2034-06-18 | 登记机关 | 北京市海淀区市场监督管理局 |
| 经营范围 | 技术开发、技术推广、技术转让、技术咨询、技术服务；销售仪器仪表、五金交电、建筑材料、电气设备、通讯设备、金属材料、化工产品（不含危险化学品及一类易制毒化学品）、机械设备、医疗器械Ⅰ、Ⅱ类；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售第三类医疗器械。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；销售第三类医疗器械以及依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。） | ||
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