| 产品特性耐高温 | 加工定制是 |
| 种类化合物半导体 |
扫一扫 微信联系
| 产品特性耐高温 | 加工定制是 |
| 种类化合物半导体 |
石墨托盘是一种用于LED外延晶圆制程的石墨承载盘，包括若干个设置在承载盘上方的晶圆凹槽，用于置放外延晶圆衬底，所述晶圆凹槽的内侧边缘设置有一挡板结构，且所述挡板与晶圆衬底成互补关系，二者以挡板、晶圆衬底的平边为重合边构成大致圆形，所述挡板结构能够减少在外延生长过程晶圆凹槽中的晶圆衬底平边空隙位置，***晶圆衬底平边温度和气流稳定，从而提高外延晶圆衬底的边缘良率。
上海弘竣新能源材料生产的半导体外延片生长的CVD石墨托盘采用德国进口石墨,具有更好的稳定性、***的使用寿命。还可根据客户的要求定制，更好的为半导体厂商服务。
技术：
1)用于LED外延片加工石墨顶板;
2)挡板结构内部晶片边缘休息;
3)挡板与晶片衬底到两个层次之间的互补关系;
4)保持挡板晶片衬底边缘重合边构成充分循环。
功能：
1)较低的热膨胀系数
2)thermak导电性更好
3)稳定的化学perfermance
4)更好的耐蚀性
5)较强的导电性
| 企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 91310118MA1JMD909B |
|---|---|---|---|
| 成立日期 | 2018-03-29 | 法定代表人/负责人 | 郑方渊 |
| 注册资本 | 1,000万(元) | 注册地址 | 上海市青浦区华新镇华腾路1288号1幢4层I区438室 |
| 营业期限 | 2018-03-29 至 2028-03-28 | 登记机关 | 青浦区市场监督管理局 |
| 经营范围 | 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；新材料技术推广服务；石墨及碳素制品销售；光伏设备及元器件销售；特种陶瓷制品销售；化工产品销售（不含许可类化工产品）；模具销售；电子专用材料销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 许可项目：技术进出口；货物进出口。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） | ||
