苏州古尾谷电子有限公司
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日本ULVAC爱发科 - 高速光谱椭偏仪 手动型UNECS 系列 半导体行业使用

UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用独特的测量方式,实现了高速测量和机体的小型化。我们的产品阵容包括独特的便携式,自动式和对应真空环境的设备内置式类型。UNECS-Portable,测量部的重量只有2.2kg重量轻且紧凑。 展开

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更新时间 : 2024-05-24
产品特性光谱椭偏仪类型高速光谱椭偏仪
品牌日本ULVAC爱发科型号UNECS 系列
材质金属用途金属膜
展开

UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。

采用独特的测量方式,实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括独特的便携式,自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
UNECS-Portable,测量部的重量只有2.2kg重量轻且紧凑,是易于携带的便携式类型。
可用于真空设备现场验收试验,可以通过分离样品台直接放在样品上进行大尺寸样品的测量。



特点

  • 高速測定:
    独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。

  • 适用于可见光谱:
    波长范围可选标准类型(530nm至750nm)和可见光谱类型(380nm至760nm)。

  • 紧凑型传感器单元:
    光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成,因此非常轻且紧凑,并且不需要定期维护。

  • 丰富的产品阵容:
    产品阵容应用广泛,包括如独特的便携类型,手动/自动平台类型,大型基板类型,以及支持大气/真空环境的内置类型。










用途

  • 透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蚀剂,ITO等)的膜厚,折射率,消光系数的测量



规格

波长范围530 ~ 750nm、380 ~ 760nm(选择)
点径Φ1mm、Φ0.3mm(选择)
入射角度70o固定
膜厚再现性1σ = 0.1nm
膜厚范围1nm ~ 2μm
测量时间受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms
平台固定类型(Φ150mm以下、可拆卸)
控制PC笔记本类型(带操作/分析软件)
机器构成测量本体(带固定台)、控制器BOX、光源单元
操作PC(笔记本型)、使用说明书(CD)







爱发科ULVAC真空泵是基于我们在真空领域的丰富技术和经验而开发的。我们提供一系列适用于所有领域、条件和应用的真空泵,包括涡轮分子泵、低温泵和溅射离子泵。

泵型--全部低温泵、超级陷阱、涡轮分子泵、溅射离子泵、油扩散泵、排气装置、高真空泵油。

低温泵CRYO-U系列 超真空冷冻机

爱发科ULVAC低温真空泵CRYO-U8H、CRYO-U4H、CRYO-U6H、CRYO-U8H、

爱发科ULVAC超真空冷冻机 CRYO-U8H-U、CRYO-U8HL、CRYO-U8HSP、CRYO-U10H、

半导体真空泵ULVAC爱发科CRYO-U1OHSP、 CRYO-U12H、 CRYO-U12HL、 CRYO-U12HSP、

ULVAC爱发科真空泵CRYO-U16、 CRYO-U16P、 CRYO-U20P、 CRYO-U20H、

ULVAC爱发科低温泵CRYO-U22P、 CRYO-U22WB、 CRYO-U22H、 CRYO-U3OH、

日本ULVAC爱发科油回转真空泵VD系列

 VD30C / VD40C / VD60C / VD90C/ 

日本ULVAC螺杆式干式真空泵
爱发科MS120A / MS600A / MS1200A

日本ULVAC爱发科 油回转真空泵
VS系列 ULVAC超真空
VS300A-W

日本ULVAC爱发科超真空泵  
油回转真空泵 VS1501/ VS2401 

日本ULVAC爱发科
旋片式(单级)油回转真空泵
VS650B-A / VS650B-W / VS650B-WL *1 / VS750B-A / VS750B-W 

ULVAC爱发科可选配件
真空干燥器   VDE-3

爱发科ULVAC涡旋式干式真空泵DIS/DISL系列
DIS-252/DISL-252


爱发科ULVAC油回转真空泵
PVD系列
皮带驱动低速旋转泵具有安静、稳定的泵送特性
PVD-180(B) / PVD-360(B) 

爱发科ULVAC
多级罗茨干式真空泵
HR/UR系列  UR421-T / UR600 / UR1200 / UR1800 / UR3601-TT/  
UR421-T / UR90/  UR90 / UR180 / UR421-T 

爱发科ULVAC多级罗茨干式真空泵
GR系列

GR60A GR90A GR180A 


爱发科ULVAC  真空泵(低/中真空)
ULVAC 的真空泵是基于我们在真空领域的丰富技术和经验而开发的。除了油回转泵外,我们还拥有适合所有领域、条件和应用的真空泵系列,包括干泵、罗茨型、隔膜型和活塞型。
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS300A-W
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS1501/VS2401
爱发科ULVAC油回转真空泵VS系列
VS650B/VS750B
爱发科ULVAC油回转真空泵VD系列
VD版本C
爱发科ULVAC油回转真空泵
PVD180(B) *1 / PVD-360(B) *1 
爱发科ULVAC油回转真空泵
PKS-016 /PKS-030/ PKS-070B *1 
爱发科ULVAC油回转真空泵
TMX-1
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油雾捕集器 TM201
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爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-051
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爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-202AA
爱发科ULVAC 油回转真空泵GLD/GLS系列
GLD-202BB
爱发科ULVAC油回转真空泵GLD/GLS系列
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爱发科ULVAC油回转真空泵GHD系列
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爱发科ULVAC油回转真空泵GHD系列
GHD-101A
爱发科ULVAC油回转真空泵GCD系列
GCD-051X
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GCD-136X
爱发科ULVAC油回转真空泵GCD系列
GCD-201X
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
OMT-050A 
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾捕集器
OMT-100A/OMT-200A
爱发科ULVAC油回转真空泵内联陷阱
OMI-100/ OMI-200
爱发科ULVAC油回转真空泵油雾分离器
OMC-050/OMC-200
爱发科ULVAC油回转真空泵 前线陷阱
OFI-050C/OFI-200C/OFI-050V/OFI-200V
爱发科ULVAC油回转真空泵 油过滤系统
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企业类型 有限责任公司(自然人投资或控股) 统一社会信用代码 91320505MA1M96EL56
成立日期 2015-09-30 法定代表人/负责人 周宇
注册资本 100万(元) 注册地址 苏州高新区滨河路588号2幢B709室
营业期限 2015-09-30 至 无固定期限 登记机关 苏州高新区(虎丘区)行政审批局
经营范围 销售:电子产品、电子工具、电子元器件、仪器仪表、五金交电、防静电设备、劳保用品、辅料、自动化设备、非危险性化工产品、机械设备及配件、通信设备。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可展开经营活动) 一般项目:塑料制品销售;泵及真空设备销售;新能源汽车生产测试设备销售;环境保护专用设备销售;试验机销售;半导体器件专用设备销售;新型膜材料销售;电池零配件销售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;金属制品修理;通用设备修理;专用设备修理;电气设备修理;仪器仪表修理(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
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江苏 苏州 虎丘区 江苏省苏州市高新区滨河路588号B-709
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