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BT60 大孔径主轴选型 RSF TTR MCR15 外径299.81 内径280 ID1282526-09
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主轴用光栅TTR MCR15FS 外径59.93 内径40 ID1282526-01 精度± 20.0''
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选型RSF圆光栅TTR MCR15 外径74.98 内径55 ID1269742-03 1vpp信号
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RSF圆光栅TTR MCR15FS 外径114.05 内径95 ID1269742-02 精度± 10.0''
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转台选型RSF圆光栅TTR MCR15 外径150.30 内径130.00 ID1269742-02
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雷尼绍圆光栅码盘 RESA30USA075B、RESA30USA115B 外径75 115mm
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