加工定制否 | 品牌 |
型号型号:ZK14-RTS4库号:M407253 | 规格型号:ZK14-RTS4库号:M407253 |
适用范围型号:ZK14-RTS4库号:M407253 |
加工定制否 | 品牌 |
型号型号:ZK14-RTS4库号:M407253 | 规格型号:ZK14-RTS4库号:M407253 |
适用范围型号:ZK14-RTS4库号:M407253 |
四探针测试仪(手动不带软件) 型号:ZK14-RTS4
库号:M407253
四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了新电子技术进行设计、装配。具有功能直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
技术指标
测量范围
电阻率:0.0001~2000Ω.cm(可扩展);
方块电阻:0.001~20000Ω/□(可扩展);
电导率:0.0005~10000 s/cm;
电阻:0.0001~2000Ω;
可测晶片直径
140mmX150mm(配S-2A型测试台);
200mmX200mm(配S-2B型测试台);
400mmX500mm(配S-2C型测试台);
恒流源:电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档,各档电流连续可调
数字电压表:量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
输入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
显示:四位半红色发光管数字显示;性、量程自动显示;
四探针探头基本指标 间距:1±0.01mm;
针间绝缘电阻:≥1000MΩ;
机械游移率:≤0.3%;
探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;
探针压力:5~16 牛顿(总力);
四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行) 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整机测量相对误差 (用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度 ≤5%
软件功能(选配)软件可记录、保存、打印每一点的测试数据,并统计分析测试数据值、小值、平均值、变化、平均变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图,也可把测试数据输出到Excel中,对数据进行各种数据分析。软件还可自动测量功能,根据样品电阻大小自动适合电流量程档测试。
计算机通讯接口:并口,高速并行采集数据,连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5秒
标准使用环境 温度:23±2℃;
相对湿度:≤65%;
无高频干扰;
无强光直射;
企业类型 | 有限责任公司(自然人投资或控股) | 统一社会信用代码 | 91110108306365694G |
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成立日期 | 2014-06-19 | 法定代表人/负责人 | 兰斌 |
注册资本 | 520万(元) | 注册地址 | 北京市海淀区上地信息产业基地三街1号楼四层C段4C-14 |
营业期限 | 2014-06-19 至 2034-06-18 | 登记机关 | 北京市海淀区市场监督管理局 |
经营范围 | 技术开发、技术推广、技术转让、技术咨询、技术服务;销售仪器仪表、五金交电、建筑材料、电气设备、通讯设备、金属材料、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、机械设备、医疗器械Ⅰ、Ⅱ类;货物进出口、技术进出口、代理进出口;销售第三类医疗器械。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;销售第三类医疗器械以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。) |